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  2025年11月21日徐州市生态环境局关于江苏华兴激光科技有限公司砷化镓、磷化铟半导体外延片生产的基本工艺提升更新改造项目环境影响报告书拟进行审核检查的公示

  2025年11月21日徐州市生态环境局关于江苏华兴激光科技有限公司砷化镓、磷化铟半导体外延片生产的基本工艺提升更新改造项目环境影响报告书拟进行审核检查的公示

  根据建设项目环境影响评价审批程序的有关法律法规，我局拟对江苏华兴激光科技有限公司砷化镓、磷化铟半导体外延片生产的基本工艺提升更新改造项目环境影响报告书进行审核检查。现将拟审查的环境影响报告书基本情况予以公示，公示期为2025年11月21日－2025年11月27日（5个工作日）。听证权利告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可以提出听证申请。

  通讯地址：徐州市云龙区新安路5号徐州市政务服务中心一楼C厅生态环境局窗口

  项目利用原有厂房，淘汰现有金属有机物化学气相沉积系统、氮气纯化器、尾气处理系统、钯膜、磁控溅射等14台（套）设备，除更新MOCVD设备型号外，其余上述设备均购置全新原型号设备，新增电子束蒸发、接触式光刻机、湿法去胶机、酸碱清洗机等20余台（套）设备。对现有二期项目生产的基本工艺进行改进，增加“有机清洗-光刻-脊形条刻蚀-清洗-介质膜沉淀-SiO₂光刻-SiO₂刻蚀”，“外延前处理”“MOCVD炉零部件清洗”工序，改建后工艺与现有一期改扩建项目一致。调整产品结构，砷化镓外延片增加3万片/年、磷化铟外延片减少3万片/年，改建后，全厂砷化镓半导体激光外延片产能达到10万片/年，磷化铟半导体外延片产能为12万片/年，砷化镓半导体激光芯片、磷化铟半导体激光芯片产能不变，分别为2万支/年。

  废气：项目废气主要为外延生长废气、酸性废气、清洗有机废气、光刻有机废气、脊形条刻蚀和清洗酸性废气、介质膜沉淀废气、SiO2刻蚀废气、前处理有机废气、MOCVD零部件清洗酸性废气和内置过滤器清洗碱性废气、危废库废气和废热等。项目废气处理解决措施为：外延测试产生的酸洗废气、沉积废气、刻蚀废气分别收集后，依托现有1套1#二级碱喷淋装置处理达标后，依托现有DA001排气筒（25m）高空排放；外延测试、外延前处理、零部件酸洗、过滤器碱洗产生的酸碱废气分别经收集后，依托现有2#二级碱喷淋装置处理达标后，依托现有DA004排气筒（25m）高空排放；外延生长废气（砷化氢、磷化氢、颗粒物、溴化氢）经密闭负压收集经自带过滤器（过滤棉+活性炭）处理后，依托现有“2#~5#湿法喷淋系统+3#二级碱喷淋系统”处理后通过25m高排气筒（DA006）排放；外延有机清洗、光刻、前处理产生的有机废气收集后，通过新增的1套二级活性炭吸附装置处理达标后，通过新增DA008排气筒（25m）高空排放；危废库中有机危废间和酸性危废间废气，分别经新增活性炭吸附装置和碱喷淋装置处理后，通过新增DA009排气筒（18m）高空排放。

  废水：项目有机废水、初期雨水经SBR处理（20t/d）、酸碱废水经“酸碱中和池+高效沉淀池”（40t/d）处理、湿法喷淋废水经“低温结晶+低温蒸发”（5t/d）处理、生活垃圾污水经化粪池处理，上述废水经处理后，与制纯水浓水、循环冷却系统排水进入排放池，经“一企一管”接管至邳州市中创污水处理有限公司（戴圩污水处理厂）。

  固废：固废采取分类收集，生活垃圾由环卫部门清运；不合格外延片属于一般固废，收集综合利用；沾染含砷的废手套、废刀片、废钢丝球、废酸液、丙酮去胶废液、异丙醇废液、废显影液、废活性炭（MOCVD内置过滤器更换）、废过滤棉、废铜粉、废碱液、废活性炭、中和沉渣、废机油、废化学品包装物、含氟污泥、含砷污泥、生化污泥等属于危险废物，委托有资质的单位安全处置。项目依托现有危废贮存库，内设40㎡酸性危废间和40㎡有机危废间。

  噪声：噪声源为各类设备、风机运转所产生的机械噪声，项目通过对噪声设备采取对应隔声减振措施、合理地布局、绿化等措施和距离衰减后，确保厂界达标。

  土壤、地下水：按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”的原则，加强管理。项目依托现有生产车间、化学品仓库、固态废料贮存场所、事故池、污水收集管网和污水处理站，已作为重点防渗区，按照防渗要求做防渗。办公生活区域、厂区道路等为一般污染防治区。

  相关部门意见：2025年3月4日邳州市政务服务管理办公室出具的备案证（备案证号：邳政服投备〔2025〕191号，项目代码：-89-02-841900）。